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                      反射式膜厚測量儀

                      更新時間:2023-11-01

                      簡要描述:

                      A3-SR系列反射式膜厚儀可用于測量半導體鍍膜,手機觸摸屏ITO等鍍膜厚度,PET柔性涂布的膠厚等厚度,LED鍍膜厚度,建筑玻璃鍍膜厚度及其他需要測量膜厚的場合。

                      訪問次數:84廠商性質:代理商

                      反射式膜厚測量儀

                      A3-SR 系列反射式膜厚測量儀可用于測量半導體鍍膜,手機觸摸屏ITO等鍍膜厚度,PET柔性涂布的膠厚等厚度,LED鍍膜厚度,建筑玻璃鍍膜厚度及其他需要測量膜厚的場合。A3-SR系列可用于測量2納米到3000微米的膜厚,測量精度達到0.1納米。 在折射率未知的情況下,A3-SR 還可用于同時對折射率和膜厚進行測量。配手持式探頭,A3-SR 可以用來一鍵式測量車燈罩表面硬化膜(包括過渡層)和背面的防霧層,精度達到0.02um, 只需1秒鐘,還可以測量內飾件,外飾件的鋁陽極氧化層和漆層的厚度,精度達到0.02um

                      此外,A3-SR 還可用于測量樣品的顏色和反射率。樣品光斑在1毫米以內。A3-SR進行測量簡單可靠,實際測量采樣時間低于1秒。配合我們的Apris SpectraSys 軟件進行手動測量,每次測量時間低于5秒。Apris SpectraSys支持50層膜以內的模型并可對多層膜厚參數進行測量。Apris SpectraSys 軟件還擁有近千種材料的材料數據庫,同時支持函數型(Cauchy, Cauchy-Urbach,Sellmeier), 物理光學(Drude-Lorentz,Tauc-Lorentz),混合型(Maxwell Garnett, Bruggeman)EMA 等折射率模型。

                      同時,客戶還可以通過軟件自帶數據庫對材料,菜單進行管理并回溯檢查測量結果。目標應用:半導體鍍膜,光刻膠玻璃減反膜測量藍寶石鍍膜,光刻膠ITO 玻璃太陽能鍍膜玻璃各種襯底上的各種膜厚,顏色測量卷對卷柔性涂布光學膜其他需要測量膜厚的場合

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                      產品型號和系統設置:

                      產品型號

                      A3-SR-200

                      產品尺寸

                      W270*D217*H90+H140

                      測試支架

                      測試方式

                      紫外+可見+UV+VIS

                      反射(R)

                      波長范圍

                      250-1050納米

                      光源

                      鎢鹵素燈+氘燈 鹵素燈標稱壽命10000小時,氘燈標稱壽命1500小時

                      光路和傳感器

                      光纖式(FILBER )+進口光譜儀

                      入射角

                      0 (垂直入射) (0 DEGREE)

                      參考光樣品

                      硅片

                      光斑大小

                      LIGHT SPOT

                      About   1 mm(標配,可以根據用戶要求配置)

                      樣品大小

                      SAMPLE SIZE

                      10 mm TO 300 mm (可以根據用戶要求配置)

                      膜厚測量性能指標(THICKNESS SPECIFICATION):

                      產品型號

                      A3-SR-200

                      厚度測量 1

                      Thickness范圍

                      2 nm - 100 200um

                      折射率 1(厚度要求)

                      N  

                      50nm and up

                      準確性 2  

                      Accuracy

                      2 nm 0. 5%

                      精度 3

                      precision

                      0.1 nm

                      1表內為典型數值, 實際上材料和待測結構也會影響性能

                      2 使用硅片上的二氧化硅測量,實際上材料和待測結構也會影響性能

                      3 使用硅片上的二氧化硅(500納米)測量30次得出的1階標準均方差,每次測量小于1.

                      軟件(SOFTWARE)

                      檢測項目

                      標準型

                      層數

                      10

                      材料

                      表格型和函數型

                      粗糙度模型

                      反射/透射

                      反射型+透射型

                      材料庫

                      表格型+函數型

                      入射角

                      垂直入射

                      折射率測量




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